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電子工業超純水處理的應用

文章出處:迪奧水處理責任編輯:迪奧水處理作者:admin
電子工業超純水簡介:半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質分為5個行業標準,分別為18M?.cm、15M?.cm、10M?.cm、2M?.cm、0.5M?.cm,以區分不同水質,同時伴有對硅、塵粒、有機碳、微生物等物質含量的不同要求。

電子工業超純水設備

應用場合:
     ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
     ☆超純材料和超純化學試劑;
     ☆實驗室和中試車間;
     ☆汽車、家電表面拋光處理;
     ☆光電產品、液晶顯示器
     ☆其他高科技精微產品;


電子工業用超純水的工藝流程


  電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種:

  1、離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式,

    原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點


  2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式

    原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過濾器→純水箱→用水點


  3、反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝。

    原水→沙、碳過濾器→保安過濾器→一級反滲透設備→原水箱→二級反滲透設備→純水泵→電去離子(EDI)→純水箱→輸送泵→UV燈→精混→精密過濾器→用水點


  4、反滲透+混合床方式

  原水→原水加壓泵→砂、碳過濾器→保安過濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過濾器→用水點

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